真空规是测量真空参数的仪表，其读数准确性关系到理论计算及日常生产的方方面面。比如真空包装机的保鲜真空度如何,因此需对新进真空规进行验收并按期对使用中的真空规进行准确、有效的校准。

1　设计技术指标

　　本装置需达到的技术指标如下：
　　a．装置整体极限真空<1×10-3Pa；
　　b．装置单点漏率<1×10-10Pa•m3/s；
　　c．稳压容器压力涨幅<1×10-4Pa/s；
　　d．为保持压力稳定，稳压容器体积不小于20L；
　　e．加工装配便捷，操作过程简便。

2　设计原理
　　本装置采用比对法校准真空规。通过处于相同真空度的已经过校对的标准表与待校的真空规读数上的比对，判断待校表是否符合精度上的要求，如果不符合，调节待校真空规读数指示值，使其指示值到指定精度范围内，以达到校准的目的。本装置真空度的调节是通过机械泵、分子泵和微调进气阀实现，压力的稳定性通过稳压容器实现。

3  装置的验收及使用情况
　　装置完成后，进行了探漏及安装。发现的问题有，微调进气阀底座漏率及稳压装置侧面焊缝漏率不满足要求，刀口密封法兰加工精度未达到图纸要求导致安装不上等。
　　通过漏处补焊，刀口密封法兰重新加工等手段使问题解决。
　　确认装置已消除加工缺陷后，将装置安装于校表实验台上，使用阿尔卡特ASM120h探漏仪进行探漏，各处单点漏率均<1×10-10Pa•m3/s。
对装置的抽空性能的验收：用旋片泵对装置抽空，极限真空达到<10-1Pa，开分子泵，5分钟后真空度达到<1×10-3Pa，满足了设计要求。经2天深抽除气，用DL-5型B-A规测量稳压装置本底的涨幅<1×10-4Pa /s。
　　在装置上依据使用情况的不同，分别装上0.1乇至1000乇精度范围在0.15%以内通过计量部门标定合格的薄膜式压力计作为标准表，对其它待校真空规进行指定范围的校准及比对。

4  装置的误差
　　在普通真空规校准中，所引起的误差因素主要包括以下几方面：
　　a．真空规安装位置引起的误差；
　　b．规管的抽气和出气所引起的误差；
　　c．温度引起的误差。
　　本装置的优点在于：
　　采用对称结构避免了真空规安装位置引起的误差；
　　在实验室状态下基本不存在温度引起的误差；
　　装置产生的误差主要为规管的抽气和出气所引起的误差，而本装置可采用加热及长时间深抽除气大大减小规管的抽气和出气所引起的误差。
　　因此由于本装置自身造成的校对误差可忽略不计。

结论

　　该校表装置可以同时校准最多7个真空规（一个校准接口接校准用标准表）。采用对称性结构消除了由于结构影响造成的误差。稳压容器的真空度保持良好，旋片泵和分子泵的极限真空达到了使用要求。该套装置充分满足了目前大批量验收和校准真空规的要求，并可有效减少由校表装置引起的校对的误差。如果需要校对超高真空仪表，可在本装置的设计基础上更换更高极限真空的分子泵和采用全焊接结构替代现在的氟橡胶密封结构。